所有條件下的壓力控制

61.3控制蝶閥具有的壓力控制性能。憑借其快速精確的動(dòng)作控制器（0.1?s） 它是CVD和ALD工藝中精細控制的解決方案。該板起到節流元件的作用，并改變閥門(mén)開(kāi)口的傳導率。61.3的集成壓力控制器計算所需的板位置，以盡可能快地達到設定壓力。

它特別適用于氣流中有顆粒的苛刻下游工藝。61.3保持運行，盡管按照設計顆粒載荷和碎片堆積很高。

61.3系列已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數千個(gè)苛刻的應用中，證明了其的可靠性。61.3系列具有堅固的設計和直接安裝選項，以及減少和易于維護，在各個(gè)方面都令人信服。

車(chē)身材料、表面等多種設計選項

61.3控制蝶閥有鋁或不銹鋼兩種材質(zhì)，帶ISO-KF和ISO-F標準法蘭連接器?？杉煽蛻?hù)專(zhuān)用法蘭以及帶絕緣的集成加熱器等特殊功能。可根據要求提供各種FFKM/FKM彈性體（FKM為標準）。

61.3控制蝶閥的主要特點(diǎn)

特征：

出色的壓力控制

操作非?？?/span>

用于本地操作的車(chē)載軟件

在苛刻的工藝條件下可靠運行

優(yōu)點(diǎn)：

更好的過(guò)程可控性

高正常運行時(shí)間/不受限制的性能

運營(yíng)成本低

高溫高壓過(guò)程中可靠的壓力控制和隔離

62.0角度控制閥系列是具有高壓和/或高溫環(huán)境（如ALD或CVD）的真空工藝的理想選擇。最高工作溫度為200?°C的62.0提供了異常精確的壓力控制性能。由于其電動(dòng)線(xiàn)性驅動(dòng)執行器，打開(kāi)和關(guān)閉循環(huán)可以以非常平穩和精細的控制以低的最小電導進(jìn)行操作。集成的軟泵控制功能通過(guò)避免與大多數傳統氣動(dòng)驅動(dòng)致動(dòng)器相關(guān)的壓力峰值來(lái)增加這一點(diǎn)。