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MKS傳感器 技術(shù)參數

更新時(shí)間:2021-08-02   點(diǎn)擊次數:906次

MKS傳感器,通用型絕對Baratron,電容式壓力計

  
  722B 1-25,000 Torr,通用型絕對Baratron,電容式壓力計是一款緊湊,低成本的壓力計,可實(shí)現精確,可重復和可靠的測量。堅固的傳感器結構允許高過(guò)壓公差,減少線(xiàn)路壓力峰值引起的誤差。722B靈活,節省空間的設計使其成為改造應用和新設備設計的理想解決方案。
  
  占地面積小,可減小系統尺
  
  過(guò)壓限制可確保零重復性或性能不會(huì )降低
  
  全金屬全焊接結構,僅暴露Inconel,和不銹鋼,具有高耐腐蝕性
  
  幾個(gè)早期Baratron,壓力計的“Drop-in"替代品
  
  Baratron,電容壓力計技術(shù)
  
  電容式壓力計是可以測量壓力和真空的電子機械壓力表。電容計將薄膜中的壓力調制運動(dòng)轉換為與壓力成比例的電信號。壓力傳感器是薄膜,其暴露于通過(guò)入口管測量的壓力或真空。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過(guò)程和參考腔之間的壓力差使膜片稍微偏轉,改變了它與電極之間的距離。該距離的變化產(chǎn)生隔膜和電極之間的電容變化,產(chǎn)生與壓力變化成比例的電信號。

MKS流量計,多氣體,多范圍質(zhì)量流量控制器

 
多氣體,多范圍,彈性體密封,50 - 50,000 sccm質(zhì)量流量控制器
 
G系列GE50A數字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485,Profibus,EtherCAT或DeviceNetI / O. 數字控制電子設備利用新的MKS控制算法,在整個(gè)設備控制范圍內對設定點(diǎn)進(jìn)行快速,可重復的響應。典型的響應時(shí)間約為500毫秒。數字校準在校準氣體上產(chǎn)生1%的設定點(diǎn)精度。
 
流速從5到50,000 sccm
Viton,Buna,氯丁橡膠或Kalrez的密封和閥塞選項
建立時(shí)間小于750毫秒
標準封閉電導泄漏率小于滿(mǎn)量程的0.1%


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